潔凈室及相關受控環境通過將污染控制至適當水平來完成對污染敏感的活動。ISO 14644-3 潔凈室及相關受控環境----第 3 部分: 檢測方法，設定了適當的方法測量潔凈室、潔凈區或相關受控環境的性能。

與空氣過濾器和系統有關的術語

01氣溶膠測試

用測試用氣溶膠對過濾器或已安裝的過濾器系統進行檢測

02規定泄漏

客戶與建造商商定的最大允許穿透限值。用光散射粒子計數器(LSAPC)或氣溶膠光度計對潔凈室設施進行掃描時可檢測到的泄漏。

03稀釋系統

按已知容積比將進入的氣溶膠與無粒子空氣混合以降低氣溶膠濃度的系統

04過濾器系統

由過濾器、框架及其他支撐裝置或外殼所組成的系統

05終端過濾

處于空氣進入潔凈室前終端位置上的過濾器

06已安裝過濾器系統

已安裝在天花板、墻壁、網管或設備上的過濾器系統

07已安裝過濾器檢漏

為確認過濾器安裝良好、沒有向潔凈室設施的旁路滲漏，過濾器及其框架均無缺陷和滲漏所做的檢測

08泄漏

(過濾器系統)因密封性欠佳或缺陷使污染物漏出，造成下風向濃度超出預期值

09掃描

用氣溶膠光度計或光散射粒子計數器的采樣管、采取重疊的行程移過規定的檢測區，以發現過濾器泄漏的方法

已安裝過濾器系統泄漏測試

這項檢測旨在驗證潔凈室設施不存在旁路滲漏，過濾器不存在缺陷(過濾器介質和密封框架上的小孔、其他損傷，以及過濾器邊框泄漏)，從而確認終端高效過濾器安裝良好。這項檢測不檢查系統的效率。這項檢測是這樣進行的:在過濾器上風向引入檢測氣溶膠，并在過濾器的下風向對過濾器、其支撐架進行掃描，或在下風向的風管中采樣。

已安裝過濾器系統檢漏

本測試的目的是通過檢查設施沒有旁路泄漏來確認已安裝的對最具穿透性粒子直徑(MPPS)具有99.95%或更高完整性效率的過濾器系統安裝良好，過濾器無缺陷(過濾器介質、邊框、密封有小孔和其它損傷，以及過濾器邊框泄漏)。

本測試不用于確定過濾器介質的效率。檢漏確定的是泄漏水平，與設施的潔凈度性能有關。本測試是在過濾器上游引入氣溶膠，掃描過濾器下游和邊框或在下游風管取樣。該測試適用于空態或靜態潔凈間/室、新潔凈室/區調試時，或現有設施需要重新測試，或在高效過濾器更換之后。

1.氣溶膠光度計法

裝有任何類型空氣處理系統的潔凈室/區，設施排放油性揮發性測試用氣溶膠并在過濾器上沉積，風管對潔凈間/區內的產品和/或工藝和/或人員不會產生危害的。

注:相比于LSAPC方法，氣溶膠光度計方法可能需要上游有較高氣溶膠濃度。

已安裝過濾器系統檢漏掃描測試方法 

在執行本項測試之前，應測試氣流速度。如果設施以不同氣流速度運行，則應選擇最高水平用過濾器系統檢漏掃描測試。測試時，將指定的挑戰氣溶膠注入過濾器上游，用光度計探頭掃描過濾器下游和格柵或安裝邊框系統查找是否有漏點：

a.測量過濾器上游的氣溶膠濃度。該氣溶膠濃度應作為上游 100%用于光度計對照。下游測量值顯示為上游濃度的百分比穿透率；

b.然后將探頭以不超過 5 cm/s 的速度往返重疊（建議重疊 1cm）掃描。探頭與下游過濾器表面或邊框結構距離應為 3cm 或更小；

c.掃描應覆蓋每個過濾器的整個下游表面、每個過濾器的邊緣、過濾器邊框與格柵結構的密封處，包括其接口；

d.在檢漏掃描間和之后，應以合理時間間隔重復測量過濾器上游的氣溶膠濃度，以確認挑戰氣溶膠濃度的穩定性。

2.光散射空氣懸浮粒子計數器(LSAPC)方法

將有任何類型空氣處理系統的潔凈間/區，設施排放油性揮發性測試用氣溶膠并在過濾器上沉積，風管不能承受或推薦使用固體氣溶膠的。

注1:本方法要求進行一系列的計算來設計方法，亦可能需要使用稀釋劑。計算可手動，可通過單獨的計算機，可通過儀器連接的計算器或在可自動計算的 LSAPC 儀器內完成。

注2:本方法亦可用于可承受排放油性氣溶膠的系統。

已安裝過濾器系統檢漏用儀器和材料

氣溶膠光度計限用于背景粒子數或濃度低于規定泄漏率10%的情形；

光散射空氣懸浮粒子計數器(LSAPC)，限用于背景粒子數或濃度低于指定泄漏率的10%的情況；

適當的氣動或熱力學氣溶膠發生器，提供具有適當粒徑范圍的適當挑戰氣溶膠濃度；

所規定的儀器應具備有效的校正證書。