隨著科技的快速發(fā)展，污染源類型日益呈現(xiàn)出多元化、動(dòng)態(tài)化的特征。在潔凈室環(huán)境中，氣態(tài)分子污染物（AMC）已成為繼空氣懸浮粒子之后又一個(gè)影響環(huán)境質(zhì)量的關(guān)鍵因素。潔凈室內(nèi)存在各種AMC的釋放源，其污染物釋氣對(duì)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的質(zhì)量具有決定性影響。因此，控制潔凈室內(nèi)的AMC濃度，是提升產(chǎn)品良品率的關(guān)鍵。目前，針對(duì)這項(xiàng)污染物的檢測(cè)與評(píng)估工作正愈發(fā)受到關(guān)注。

材料釋氣檢測(cè)關(guān)注的核心點(diǎn)

根據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644-8和國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 36066，潔凈室中的空氣化學(xué)污染物可分為八類：酸、堿、有機(jī)物、生物毒素、可凝聚物、腐蝕物、摻雜物和氧化物。空氣化學(xué)污染物可能導(dǎo)致半導(dǎo)體晶圓表面的污染、腐蝕導(dǎo)線連接等問題，進(jìn)而危及產(chǎn)品質(zhì)量。因此，控制微電子潔凈室內(nèi)的AMC濃度，是提升產(chǎn)品良品率的關(guān)鍵。

潔凈（微）環(huán)境用材料是潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中AMC的重要來源之一，應(yīng)重點(diǎn)關(guān)注的材料包括環(huán)氧自流平、油漆、密封膠、涂料、膠粘劑、復(fù)合材料、潔凈耗材和化學(xué)過濾器等。材料釋氣檢測(cè)和評(píng)估是判斷材料和設(shè)備是否滿足潔凈室AMC控制要求的重要手段，是實(shí)現(xiàn)空氣化學(xué)污染控制的關(guān)鍵保障措施。

釋氣檢測(cè)的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

1.JACA NO.34《潔凈室構(gòu)成材料產(chǎn)生的分子污染物測(cè)量指南 潔凈室建筑/組合材料排放的空氣分子污染物評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)》

2.GB/T 25915.15《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第15部分:按氣態(tài)化學(xué)物濃度評(píng)定設(shè)備及材料的適用性》

3.ISO 16000-9《Indoor air Part 9:Determination of the emission of volatile organic compounds from samples of building products and furnishing-Emission test chamber method》

4.VDI 2083-17《Reinraumtechnik Reinheitstauglichkeit von Werkstoffen Cleanroom technology Compatibility of materials with the required cleanliness》

5.ASTM E595《Standard Test Method forTotal Mass Loss and Collected Volatile Condensable Materials from Outgassing in a Vacuum Environment》

釋氣檢測(cè)的流程

材料釋氣評(píng)估報(bào)告樣例

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境潔凈環(huán)境與裝備測(cè)試中心大灣區(qū)實(shí)驗(yàn)室長(zhǎng)期致力于電子產(chǎn)品制程環(huán)境與工藝系統(tǒng)性能檢測(cè)與評(píng)價(jià)、潔凈（微）環(huán)境用設(shè)備和材料性能研究，根據(jù)用戶需求提供檢測(cè)、監(jiān)測(cè)、咨詢、認(rèn)證服務(wù)，助力您的潔凈空間升級(jí)，守護(hù)每一個(gè)品質(zhì)細(xì)節(jié)。