PMS的AirSentry II分子污染監(jiān)測系列的離子遷移率光譜儀用于空氣分子污染 (AMC)，可檢測空氣中氯化物、酸、胺和含氨物質(zhì)的微小濃度或含量變化，并向用戶發(fā)出警報(bào)。這些使用點(diǎn)傳感器具有萬億分之一（ppt）的靈敏度，可提供快速響應(yīng)、更高的檢測選擇性和可重復(fù)的性能。將Air Sentry II傳感器與中央軟件平臺(tái)相結(jié)合，可以方便地進(jìn)行數(shù)據(jù)采集和分析。AirSentry II系列機(jī)載分子污染傳感器可提供連續(xù)的可操作數(shù)據(jù)，以便對污染源和污染事件做出有效反應(yīng)。

性能優(yōu)勢

酸類和基底（胺類、氨以及氯化物）的高靈敏度檢測

使用點(diǎn)、多點(diǎn)式、移動(dòng)式監(jiān)測應(yīng)用的通用產(chǎn)品配置

體積小，可放在任何位置

以太網(wǎng)，RS-232, 4-20毫安輸出

系統(tǒng)價(jià)值

連續(xù)監(jiān)測關(guān)鍵點(diǎn)

耐久可靠的數(shù)據(jù)收集、控制、分析

長期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性

最低的每份測試成本

場景應(yīng)用

在蝕刻技術(shù)位置里的實(shí)時(shí)腐蝕監(jiān)測

在關(guān)鍵的光刻系統(tǒng)內(nèi)的實(shí)時(shí)胺類以及氨的監(jiān)測

化學(xué)過濾器有效率的資格確認(rèn)

遍及潔凈室以及生產(chǎn)工具里的污染源的追蹤和去除

前端開口片盒圓晶片存儲(chǔ)模塊內(nèi)的污染分析