RION/日本理音液體粒子計(jì)數(shù)器，可檢測(cè)從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計(jì)數(shù)器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子，如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學(xué)劑比如堿，有機(jī)溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測(cè)化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液，測(cè)試方法包括在線和離線測(cè)試。
光學(xué)方式 側(cè)方散亂方式
光源 半導(dǎo)體.固體激光器（輸出800mW、波長(zhǎng)532nm）
接觸部材質(zhì) 藍(lán)寶石、PFA
粒徑測(cè)量范圍 0.03μm～0.13μm以上
粒徑段 1點(diǎn)~10點(diǎn)任意設(shè)定
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